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Sputter Deposition

材料科学 溅射 纳米技术 薄膜
出处
期刊：ASM International eBooks [ASM International]
日期：1994-01-01 卷期号：: 573-581 被引量：1
标识
DOI：10.31399/asm.hb.v05.a0001288
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