Effect of RF bias power on discharge mode transition and its hysteresis in inductively coupled plasmas

磁滞 物理 等离子体 原子物理学 感应耦合等离子体 电离 温度电子 凝聚态物理 离子 核物理学 量子力学
作者
Aixian Zhang,Minseok Kim,Young-Hun Hong,Jun-Hyeon Moon,Kyung‐Hyun Kim,Chin‐Wook Chung
出处
期刊:Physics of Plasmas [American Institute of Physics]
卷期号:29 (1) 被引量:4
标识
DOI:10.1063/5.0064438
摘要

Hysteresis, one of the interesting characteristics of inductively coupled plasmas, takes place due to the nonlinearities of absorbed power or dissipated power [M. M. Turner et al., Plasma Sources Sci. Technol. 8, 313 (1999)]. In this work, the bias power effect on discharge mode transition and its hysteresis is investigated by measuring the antenna coil currents, time-average substrate voltages, electron densities, and electron energy probability functions (EEPFs). The behavior of hysteresis is comparatively analyzed by introducing a global model that considers the evolution of EEPFs and excitation state species (multi-step ionization). In the absence of bias power, a typical hysteresis appears at a gas pressure of 300 mTorr. The measured EEPF evolves from a Druyvesteyn distribution in the E mode to a Maxwellian distribution in the H mode with growing the antenna power from 25 W to 60 W. Interestingly, when a bias power of 30 W is applied to the substrate, the hysteresis vanishes, and the shape of the EEPF is maintained in each mode. The possible factors are considered the diminished changes in total energy loss (reduced nonlinearity of dissipated power) and in power transfer efficiency between E mode and H mode during the mode transition.
最长约 10秒,即可获得该文献文件

科研通智能强力驱动
Strongly Powered by AbleSci AI
更新
PDF的下载单位、IP信息已删除 (2025-6-4)

科研通是完全免费的文献互助平台,具备全网最快的应助速度,最高的求助完成率。 对每一个文献求助,科研通都将尽心尽力,给求助人一个满意的交代。
实时播报
小琪猪完成签到,获得积分10
刚刚
basepair完成签到,获得积分10
刚刚
啦哈啦哈啦完成签到,获得积分10
1秒前
活力毛豆完成签到 ,获得积分10
1秒前
x_x完成签到,获得积分10
1秒前
李雪松完成签到 ,获得积分10
1秒前
柚子完成签到,获得积分10
2秒前
sunflowers完成签到 ,获得积分10
2秒前
2秒前
steven完成签到,获得积分10
2秒前
2秒前
todo完成签到,获得积分10
2秒前
YifanWang应助xiaoguan采纳,获得20
3秒前
4秒前
皑似山上雪完成签到,获得积分10
4秒前
知了完成签到,获得积分10
4秒前
WHT完成签到,获得积分10
4秒前
红豆小猫应助614521采纳,获得10
5秒前
5秒前
卡布达完成签到,获得积分10
5秒前
lele发布了新的文献求助10
6秒前
cesar完成签到,获得积分10
6秒前
枕星完成签到,获得积分10
7秒前
文静的白羊完成签到,获得积分10
7秒前
0713完成签到,获得积分10
7秒前
紧张的刺猬完成签到,获得积分10
7秒前
CipherSage应助科研通管家采纳,获得10
8秒前
Orange应助科研通管家采纳,获得10
8秒前
科目三应助科研通管家采纳,获得10
8秒前
wanci应助科研通管家采纳,获得10
8秒前
斯文败类应助科研通管家采纳,获得10
8秒前
田様应助科研通管家采纳,获得10
8秒前
Orange应助科研通管家采纳,获得10
8秒前
8秒前
fang应助科研通管家采纳,获得10
8秒前
共享精神应助科研通管家采纳,获得10
8秒前
山野村夫应助科研通管家采纳,获得10
9秒前
zz应助科研通管家采纳,获得10
9秒前
Singularity应助科研通管家采纳,获得10
9秒前
Singularity应助科研通管家采纳,获得10
9秒前
高分求助中
【提示信息,请勿应助】关于scihub 10000
Les Mantodea de Guyane: Insecta, Polyneoptera [The Mantids of French Guiana] 3000
徐淮辽南地区新元古代叠层石及生物地层 3000
The Mother of All Tableaux: Order, Equivalence, and Geometry in the Large-scale Structure of Optimality Theory 3000
Handbook of Industrial Diamonds.Vol2 1100
Global Eyelash Assessment scale (GEA) 1000
Picture Books with Same-sex Parented Families: Unintentional Censorship 550
热门求助领域 (近24小时)
化学 材料科学 医学 生物 工程类 有机化学 生物化学 物理 内科学 纳米技术 计算机科学 化学工程 复合材料 遗传学 基因 物理化学 催化作用 冶金 细胞生物学 免疫学
热门帖子
关注 科研通微信公众号,转发送积分 4038303
求助须知:如何正确求助?哪些是违规求助? 3576013
关于积分的说明 11374210
捐赠科研通 3305780
什么是DOI,文献DOI怎么找? 1819322
邀请新用户注册赠送积分活动 892672
科研通“疑难数据库(出版商)”最低求助积分说明 815029