清晨好,您是今天最早来到科研通的研友!由于当前在线用户较少,发布求助请尽量完整地填写文献信息,科研通机器人24小时在线,伴您科研之路漫漫前行!

Simulation of Fogging Electrons in Electron Beam Lithography

雾化 电子 电子束光刻 阴极射线 半径 航程(航空) 次级电子 平版印刷术 原子物理学 梁(结构) 材料科学 物理 光学 抵抗 核物理学 纳米技术 复合材料 计算机科学 图层(电子) 计算机安全
作者
Masatoshi Kotera,Takeshi Maekawa
出处
期刊:Japanese Journal of Applied Physics [Institute of Physics]
卷期号:48 (6S): 06FB05-06FB05 被引量:11
标识
DOI:10.1143/jjap.48.06fb05
摘要

A simulation model of fogging electron trajectories in a specimen chamber is developed to quantify their effect in electron beam lithography. The amount of energy deposited by fogging electrons is approximately 6 orders of magnitude lower than that by backscattered electrons. The exposure intensity distribution is expressed using an equation that considers the dependence of power on the radius. Since the radial range of fogging electrons can be several meters, it is shown that the accumulated background energy is comparable to the energy deposited by backscattered electrons if the electron beam exposure area is large.
最长约 10秒,即可获得该文献文件

科研通智能强力驱动
Strongly Powered by AbleSci AI
更新
PDF的下载单位、IP信息已删除 (2025-6-4)

科研通是完全免费的文献互助平台,具备全网最快的应助速度,最高的求助完成率。 对每一个文献求助,科研通都将尽心尽力,给求助人一个满意的交代。
实时播报
Skywings完成签到,获得积分10
2秒前
Yxy2021完成签到 ,获得积分10
8秒前
鄂海菡完成签到,获得积分10
21秒前
ceeray23发布了新的文献求助20
27秒前
piaoaxi完成签到 ,获得积分10
30秒前
沧海一粟完成签到 ,获得积分10
36秒前
yy完成签到 ,获得积分10
40秒前
李子完成签到 ,获得积分10
41秒前
张星星完成签到 ,获得积分10
1分钟前
流沙无言完成签到 ,获得积分10
1分钟前
知否完成签到 ,获得积分0
1分钟前
感性的寄真完成签到 ,获得积分10
1分钟前
欣喜石头完成签到 ,获得积分10
1分钟前
wayne完成签到 ,获得积分10
1分钟前
科研通AI2S应助科研通管家采纳,获得10
1分钟前
李大胖胖完成签到 ,获得积分10
1分钟前
Glitter完成签到 ,获得积分10
2分钟前
JD完成签到 ,获得积分10
2分钟前
岁月如歌完成签到,获得积分0
2分钟前
2分钟前
2分钟前
wbh发布了新的文献求助10
2分钟前
科研通AI2S应助Dave采纳,获得10
2分钟前
Daisy完成签到 ,获得积分10
2分钟前
huihui完成签到 ,获得积分10
3分钟前
3分钟前
AZN完成签到 ,获得积分10
3分钟前
ning_qing完成签到 ,获得积分10
3分钟前
3分钟前
柴yuki完成签到 ,获得积分10
3分钟前
zeannezg完成签到 ,获得积分10
3分钟前
路过完成签到 ,获得积分10
3分钟前
Lucas应助wbh采纳,获得10
3分钟前
上官若男应助rpe采纳,获得10
4分钟前
谢薇是猪完成签到,获得积分10
4分钟前
四叶草完成签到 ,获得积分10
4分钟前
Wen完成签到 ,获得积分10
4分钟前
拼搏的羊青完成签到 ,获得积分10
4分钟前
huanghe完成签到,获得积分10
4分钟前
wbh完成签到,获得积分10
4分钟前
高分求助中
The Mother of All Tableaux: Order, Equivalence, and Geometry in the Large-scale Structure of Optimality Theory 3000
A new approach to the extrapolation of accelerated life test data 1000
ACSM’s Guidelines for Exercise Testing and Prescription, 12th edition 500
Indomethacinのヒトにおける経皮吸収 400
Phylogenetic study of the order Polydesmida (Myriapoda: Diplopoda) 370
基于可调谐半导体激光吸收光谱技术泄漏气体检测系统的研究 350
Robot-supported joining of reinforcement textiles with one-sided sewing heads 320
热门求助领域 (近24小时)
化学 材料科学 医学 生物 工程类 有机化学 生物化学 物理 内科学 纳米技术 计算机科学 化学工程 复合材料 遗传学 基因 物理化学 催化作用 冶金 细胞生物学 免疫学
热门帖子
关注 科研通微信公众号,转发送积分 3990793
求助须知:如何正确求助?哪些是违规求助? 3532233
关于积分的说明 11256590
捐赠科研通 3271081
什么是DOI,文献DOI怎么找? 1805229
邀请新用户注册赠送积分活动 882302
科研通“疑难数据库(出版商)”最低求助积分说明 809234