Influence of radio frequency sputtering power towards the properties of indium zinc oxide semiconducting films

材料科学 溅射 电阻率和电导率 微晶 带隙 光学透明度 光电子学 分析化学(期刊) 薄膜 冶金 纳米技术 电气工程 化学 工程类 色谱法
作者
Kean C. Aw,Zviad Tsakadze,Anup Lohani,Subodh G. Mhaisalkar
出处
期刊:Scripta Materialia [Elsevier]
卷期号:60 (1): 48-51 被引量:18
标识
DOI:10.1016/j.scriptamat.2008.08.039
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