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A new elegant technique for polishing CVD diamond films

抛光 钻石 表面粗糙度 材料科学 磨料 轮廓仪 表面光洁度 扫描电子显微镜 微晶 复合材料 光学 冶金 物理
作者
C.J. Tang,A.J. Neves,A.J.S. Fernandes,J. Grácio,N. Ali
出处
期刊:Diamond and Related Materials [Elsevier]
卷期号:12 (8): 1411-1416 被引量:44
标识
DOI:10.1016/s0925-9635(03)00169-9
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