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Influence of I/O oxide process on the NBTI performance of 28nm HfO2-based HKMG p-MOSFETs

负偏压温度不稳定性材料科学氧化物可靠性（半导体）栅氧化层光电子学金属浇口 MOSFET 过程（计算）电子工程电气工程晶体管电压计算机科学工程类物理冶金量子力学操作系统功率（物理）

作者

Wei-Ting Kary Chien,Yueqin Zhu,Yongliang Song,Yong Zhao

出处

期刊：Microelectronics Reliability [Elsevier BV]
日期：2016-09-01 卷期号：64: 220-224 被引量：1

标识

DOI：10.1016/j.microrel.2016.07.004

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