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Growth of AlN films on Si (100) and Si (111) substrates by reactive magnetron sputtering

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作者

J.X. Zhang,Hao Cheng,Y.Z. Chen,Ashraf Uddin,Shu Yuan,Shu Geng,Sam Zhang

出处

期刊：Surface & Coatings Technology [Elsevier]
日期：2004-11-16 卷期号：198 (1-3): 68-73 被引量：130

标识

DOI：10.1016/j.surfcoat.2004.10.075

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