The electro-mechanical behavior of sputter-deposited Mo thin films on flexible substrates

材料科学 残余应力 薄膜 复合材料 极限抗拉强度 脆性 溅射沉积 高功率脉冲磁控溅射 溅射 压力(语言学) 纳米技术 语言学 哲学
作者
Tanja Jörg,Megan J. Cordill,Robert Franz,Олександр Глушко,Jörg Winkler,Christian Mitterer
出处
期刊:Thin Solid Films [Elsevier BV]
卷期号:606: 45-50 被引量:46
标识
DOI:10.1016/j.tsf.2016.03.032
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