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Toughness Enhancement in TiN/Zr0.37Al0.63N1.09 Multilayer Films

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作者
Marcus Lorentzon,Michael Meindlhumer,Justinas Pališaitis,Grzegorz Greczyński,Jozef Kečkéš,Johanna Rosén,Lars Hultman,Jens Birch,Naureen Ghafoor
标识
DOI：10.2139/ssrn.4773093
摘要
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