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Theoretical and experimental research on nanosecond laser cleaning of SiO2 particles on silicon wafer surface

硅材料科学薄脆饼基质（水族馆）混合硅激光器激光器粒子（生态学）表面粗糙度光电子学光学复合材料海洋学物理地质学

作者

Lifang Mei,Na Li,Dongbing Yan,Hongji Tian,Liang Yu,Shuixuan Chen

出处

期刊：The International Journal of Advanced Manufacturing Technology [Springer Nature]
日期：2023-12-12 卷期号：130 (3-4): 1693-1708 被引量：1

标识

DOI：10.1007/s00170-023-12767-2

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