Synthesis of Mo/Mo2C-DLC composite thin films via diffusion of plasma generated C atoms into sputter coated Mo thin films

材料科学 薄膜 溅射 扩散 等离子体 复合数 化学工程 溅射沉积 复合材料 纳米技术 物理 量子力学 工程类 热力学
作者
Oğuldeha Kesik,Arya Elçi,Mehmet Burak Kaynar,A. Ceylan
出处
期刊:Vacuum [Elsevier]
卷期号:: 114008-114008
标识
DOI:10.1016/j.vacuum.2024.114008

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