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Mist CVD Technology for Gallium Oxide Deposition: A Review

材料科学 镓 雾 氧化镓 化学气相沉积 沉积（地质） 工程物理 纳米技术 冶金 化学工程 气象学 工程类 古生物学 物理 沉积物 生物
作者
Suhao Yao,Yifan Yao,Maolin Zhang,Xueqiang Ji,Shan Li,Weihua Tang
出处
期刊：Materials Today Physics [Elsevier]
日期：2024-11-01 卷期号：: 101604-101604
标识
DOI：10.1016/j.mtphys.2024.101604
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