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LiNbO3 Film Bulk Acoustic Resonator for n79 band

反共振 谐振器 共振(粒子物理) 物理 光电子学 原子物理学
作者
Marie Bousquet,Eve Borel,Alice Joulie,P. Perreau,Elisa Soulat,C. Maeder-Pachurka,F. Delaguillaumie,G. Castellan,Grégory Enyedi,Julien Delprato,A. Reinhardt
标识
DOI:10.1109/ius54386.2022.9957601
摘要

We have designed and fabricated Y+36°-cut LiNbO 3 Film Bulk Acoustic Resonators (FBAR) compatible with the n79 band. Leveraging longitudinal waves and an energy trapping condition, a single-mode resonance is obtained at 4.7 GHz, with an effective electromechanical coupling coefficient (kt 2 ) of 25 % and quality factor at antiresonance (Q a ) of 574. This leads to Qxf and Q× kt 2 products of 2.7×10 12 Hz and 139, respectively. A Temperature Coefficient of Frequency (TCF) of −75 and −70 ppm/°C respectively at resonance and antiresonance are obtained. These figure-of-merits are the highest reported up to date for LiNbO 3 FBARs, highlighting the potentialities of LiNbO 3 single crystal film as an alternative to AIN-based BAW devices for next generation of RF filters. To demonstrate this, a tentative filter design based on the measured resonator characteristics is proposed.
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