Lithography gets extreme

光刻 计算光刻 下一代光刻 平版印刷术 极端紫外线 极紫外光刻 体积热力学 纳米技术 光电子学 多重图案 计算机科学 物理 光学 材料科学 抵抗 激光器 电子束光刻 量子力学 图层(电子)
作者
Christian Wagner,Noreen Harned
出处
期刊:Nature Photonics [Springer Nature]
卷期号:4 (1): 24-26 被引量:595
标识
DOI:10.1038/nphoton.2009.251
最长约 10秒,即可获得该文献文件

科研通智能强力驱动
Strongly Powered by AbleSci AI
科研通是完全免费的文献互助平台,具备全网最快的应助速度,最高的求助完成率。 对每一个文献求助,科研通都将尽心尽力,给求助人一个满意的交代。
实时播报
无情芷珊完成签到,获得积分10
1秒前
拍肩大帝陈灵均完成签到 ,获得积分10
1秒前
HSL完成签到 ,获得积分10
2秒前
3秒前
飞山发布了新的文献求助10
3秒前
自觉远山发布了新的文献求助10
4秒前
活力的寻云完成签到,获得积分10
5秒前
5秒前
dongjh完成签到,获得积分10
5秒前
日安发布了新的文献求助10
6秒前
学生专用下载文献账号完成签到,获得积分10
8秒前
情怀应助早睡早起采纳,获得10
8秒前
发光体发布了新的文献求助10
8秒前
9秒前
10秒前
11秒前
Jasper应助自觉远山采纳,获得10
11秒前
领衔完成签到,获得积分10
12秒前
泡泡完成签到,获得积分10
12秒前
Ccc发布了新的文献求助10
12秒前
小鱼完成签到,获得积分10
12秒前
13秒前
在水一方应助零库存采纳,获得10
14秒前
顺顺发布了新的文献求助10
15秒前
小鱼发布了新的文献求助10
15秒前
哎哟我去完成签到,获得积分10
15秒前
上官若男应助DYL采纳,获得10
16秒前
李健的小迷弟应助MOMO采纳,获得10
16秒前
852应助zz采纳,获得10
16秒前
Zdh同学发布了新的文献求助150
16秒前
科研通AI6.3应助称心剑鬼采纳,获得10
16秒前
所所应助正义小熊猫采纳,获得10
17秒前
123发布了新的文献求助50
18秒前
19秒前
我是弱智先帮我完成签到,获得积分10
19秒前
20秒前
复杂从梦发布了新的文献求助10
20秒前
20秒前
21秒前
思源应助siweijie采纳,获得10
22秒前
高分求助中
(应助此贴封号)【重要!!请各用户(尤其是新用户)详细阅读】【科研通的精品贴汇总】 10000
Modern Epidemiology, Fourth Edition 5000
Handbook of pharmaceutical excipients, Ninth edition 5000
Digital Twins of Advanced Materials Processing 2000
Weaponeering, Fourth Edition – Two Volume SET 2000
Social Cognition: Understanding People and Events 1000
Polymorphism and polytypism in crystals 1000
热门求助领域 (近24小时)
化学 材料科学 医学 生物 工程类 纳米技术 有机化学 物理 生物化学 化学工程 计算机科学 复合材料 内科学 催化作用 光电子学 物理化学 电极 冶金 遗传学 细胞生物学
热门帖子
关注 科研通微信公众号,转发送积分 6030549
求助须知:如何正确求助?哪些是违规求助? 7707556
关于积分的说明 16193860
捐赠科研通 5177454
什么是DOI,文献DOI怎么找? 2770656
邀请新用户注册赠送积分活动 1754116
关于科研通互助平台的介绍 1639463