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Study of silicon films deposited by EB-PVD and the effect of applying annealing conditions on them

材料科学 无定形固体 退火（玻璃） 非晶硅 拉曼光谱 硅 结晶 化学气相沉积 晶体硅 化学工程 光学 纳米技术 复合材料 结晶学 光电子学 化学 物理 工程类
作者
Meysam Zarchi,Shahrokh Ahangarani
出处
期刊：Optik [Elsevier BV]
日期：2017-10-14 卷期号：154: 601-609 被引量：3
标识
DOI：10.1016/j.ijleo.2017.10.052
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