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Ar+ FIB Milling and Measurement of FIB Damage in Silicon

材料科学硅聚焦离子束纳米技术离子光电子学化学有机化学

作者

Brandon Van Leer,Huikai Cheng,Mikhail Dutka

出处

期刊：Microscopy and Microanalysis [Cambridge University Press]
日期：2019-08-01 卷期号：25 (S2): 886-887 被引量：3

链接

cambridge.orgdoi.org

标识

DOI：10.1017/s1431927619005166

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