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Synergy between Chemical Dissolution and Mechanical Abrasion during Chemical Mechanical Polishing of Copper

化学机械平面化 磨损（机械） 材料科学 溶解 泥浆 各向同性腐蚀 摩擦学 复合材料 图层（电子） 蚀刻（微加工） 抛光 化学反应 冶金 铜 化学工程 化学 工程类 生物化学
作者
Wei Che,Ashraf Bastawros,Abhijit Chandra
出处
期刊：MRS Proceedings [Springer Nature]
日期：2005-01-01 卷期号：867 被引量：5
链接
iastate.edu iastate.edudoi.org
标识
DOI：10.1557/proc-867-w5.8
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