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I–V characteristics of tantalum oxide film and the effect of defects on its electrical properties

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作者
Chao Wang,Ling Fang,Gong Zhang,Daming Zhuang,Minsheng Wu
出处
期刊：Thin Solid Films [Elsevier]
日期：2004-02-07 卷期号：458 (1-2): 246-250 被引量：19
标识
DOI：10.1016/j.tsf.2003.11.269
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