High-performance Ge-on-Si photodetectors

光电探测器 响应度 光电子学 材料科学 光子学 硅光子学 电子线路 应变工程 红外线的 光学 物理 电气工程 工程类
作者
Jürgen Michel,Jifeng Liu,Lionel C. Kimerling
出处
期刊:Nature Photonics [Springer Nature]
卷期号:4 (8): 527-534 被引量:1257
标识
DOI:10.1038/nphoton.2010.157
摘要

The past decade has seen rapid progress in research into high-performance Ge-on-Si photodetectors. Owing to their excellent optoelectronic properties, which include high responsivity from visible to near-infrared wavelengths, high bandwidths and compatibility with silicon complementary metal–oxide–semiconductor circuits, these devices can be monolithically integrated with silicon-based read-out circuits for applications such as high-performance photonic data links and infrared imaging at low cost and low power consumption. This Review summarizes the major developments in Ge-on-Si photodetectors, including epitaxial growth and strain engineering, free-space and waveguide-integrated devices, as well as recent progress in Ge-on-Si avalanche photodetectors. Owing to their excellent optoelectronic properties, Ge-on-Si photodetector can be monolithically integrated with silicon-based read-out circuits for applications such as high-performance photonic data links and low-cost infrared imaging at low power consumption. This Review covers the major developments in Ge-on-Si photodetectors, including epitaxial growth and strain engineering, free-space and waveguide-integrated devices, as well as recent progress in Ge-on-Si avalanche photodetectors.
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