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Highly reproducible van der Waals integration of two-dimensional electronics on the wafer scale

范德瓦尔斯力 材料科学 纳米技术 光电子学 晶体管 光刻 电压 电气工程 化学 工程类 有机化学 分子
作者
Yang Xiang-Dong,Jia Li,Rong Song,Bei Zhao,Jingmei Tang,Lingan Kong,Hao Huang,Zhengwei Zhang,Lei Liao,Yuan Liu,Xiangfeng Duan,Xidong Duan
出处
期刊：Nature Nanotechnology [Springer Nature]
日期：2023-03-20 卷期号：18 (5): 471-478 被引量：55
链接
nih.govdoi.org
标识
DOI：10.1038/s41565-023-01342-1
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