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Wet-chemical deposition of metals for advanced semiconductor technology nodes: Rh3+ solution stability and Rh electrodeposition

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作者
Harold Philipsen,Youjung Kim,Bongyoung Yoo
出处
期刊：Electrochimica Acta [Elsevier]
日期：2024-05-01 卷期号：494: 144331-144331
标识
DOI：10.1016/j.electacta.2024.144331
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