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Study on the Influence of the Pulling Rate on the Axial and Radial Uniformity of Gallium in Czochralski Monocrystalline Silicon Crystal

镓单晶硅材料科学硅锭兴奋剂 Crystal（编程语言）光电子学复合材料冶金合金计算机科学程序设计语言

作者

Yubo Zu,Shaoyuan Li,Guoqiang Lv,Xiaohan Wan,Yongsheng Ren,Wenhui Ma

出处

期刊：Silicon [Springer Science+Business Media]
日期：2023-05-08 卷期号：15 (14): 6073-6084 被引量：5

标识

DOI：10.1007/s12633-023-02495-3

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