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Oxygen-termination effect on the surface energy dissipation in diamond MEMS

消散氧气钻石微电子机械系统材料科学曲面（拓扑）表面能纳米技术化学工程复合材料化学热力学物理几何学工程类数学有机化学

作者

Keyun Gu,Zilong Zhang,Guo Chen,Jian Huang,Yasuo Koide,Satoshi Koizumi,Wen Zhao,Meiyong Liao

出处

期刊：Carbon [Elsevier BV]
日期：2024-04-18 卷期号：225: 119159-119159

标识

DOI：10.1016/j.carbon.2024.119159

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