Oxygen-termination effect on the surface energy dissipation in diamond MEMS

消散 氧气 钻石 微电子机械系统 材料科学 曲面(拓扑) 表面能 纳米技术 化学工程 复合材料 化学 热力学 物理 几何学 数学 有机化学 工程类
作者
Keyun Gu,Zilong Zhang,Guo Chen,Jian Huang,Yasuo Koide,Satoshi Koizumi,Wen Zhao,Meiyong Liao
出处
期刊:Carbon [Elsevier]
卷期号:225: 119159-119159
标识
DOI:10.1016/j.carbon.2024.119159
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