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作者
S. Suganya,
M.L. Aparna,
G. Janani,
Sambasivam Sangaraju,
Aboud Ahmed Awadh Bahajjaj,
Fen Ran,
S. Sudhahar
出处
期刊：
Materials Science in Semiconductor Processing
[Elsevier]
日期：2024-11-27
卷期号：187: 109164-109164
被引量：16
标识
DOI：10.1016/j.mssp.2024.109164
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