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Study on the damage evolution of 6H-SiC under different phosphorus ion implantation conditions and annealing temperatures

退火（玻璃） 离子注入 材料科学 离子 磷 分析化学（期刊） 冶金 光电子学 化学 环境化学 有机化学
作者
Jin-Jun Gu,Jin-Hua Zhao,Ming-Yang Bu,Sumei Wang,Fan Li,Qing Huang,Shuang Li,Qing-Yang Yue,Xuelin Wang,Zhi‐Xian Wei,Yong Liu
出处
期刊：Results in physics [Elsevier]
日期：2022-12-01 卷期号：43: 106127-106127 被引量：3
链接
doi.org doaj.orgdoi.org
标识
DOI：10.1016/j.rinp.2022.106127
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