AlN Thin Film Processing and Basic Properties

材料科学 纤锌矿晶体结构 压电 微电子机械系统 薄膜 谐振器 光电子学 PMUT公司 工程物理 复合材料 纳米技术 冶金 工程类
作者
Paul Muralt
出处
期刊:Microsystems and nanosystems 卷期号:: 3-37 被引量:15
标识
DOI:10.1007/978-3-319-28688-4_1

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