Probing Particle Movement in CMP with Fluorescence Technique

化学机械平面化 抛光 粒子(生态学) 薄脆饼 泥浆 流离失所(心理学) 材料科学 半导体器件制造 旋转(数学) 转速 跟踪(教育) 机械 半导体 纳米技术 光学 机械工程 复合材料 物理 计算机科学 光电子学 工程类 地质学 人工智能 心理学 海洋学 心理治疗师 教育学
作者
Jun Lei,Dan Guo,Jianbin Luo,Guoshun Pan
出处
期刊:Journal of The Electrochemical Society [Institute of Physics]
卷期号:158 (6): H681-H685 被引量:14
标识
DOI:10.1149/1.3576139
摘要

Chemical mechanical polishing (CMP) is now widely used in semiconductor manufacturing. Characterizing the particle movement in CMP is essential to understanding of the complicated material removal mechanisms for CMP. In this study, an experimental system based on fluorescence technique has been designed and developed. The particle displacement and velocity in the interface between a transparent wafer and a polishing pad were observed in-situ with the system. It can be found that some particles were embedded on the polishing pad and rotated with the pad. And the others were able to move free in slurry flow. All the particles in the experiments could be classified into four groups. The counting procedure suggested that the percentage of free particles in the field of view was between 10 and 50%. By analyzing the velocity of free particles at various rotation speeds and applied pressure, it was found that some of the free particles were able to travel at a speed 12–18 times the linear speed. The uncertainty in the velocity measurements was less than 8%. The objective of this study was to offer deep insights into the material removal mechanisms by measuring the real-time particle movement in CMP.
最长约 10秒,即可获得该文献文件

科研通智能强力驱动
Strongly Powered by AbleSci AI
更新
PDF的下载单位、IP信息已删除 (2025-6-4)

科研通是完全免费的文献互助平台,具备全网最快的应助速度,最高的求助完成率。 对每一个文献求助,科研通都将尽心尽力,给求助人一个满意的交代。
实时播报
hyfwkd完成签到,获得积分10
1秒前
MT完成签到 ,获得积分10
1秒前
adamchase完成签到,获得积分10
2秒前
cui完成签到,获得积分10
2秒前
warmsnow完成签到,获得积分10
2秒前
咩咩完成签到,获得积分10
2秒前
xiaodong完成签到,获得积分10
3秒前
3秒前
一日不看书智商输给猪完成签到,获得积分10
5秒前
无限草丛完成签到,获得积分10
5秒前
张正完成签到 ,获得积分10
5秒前
大胆的忆寒完成签到,获得积分10
6秒前
Asereht完成签到 ,获得积分10
7秒前
乐观的眼睛完成签到,获得积分10
7秒前
雨点完成签到,获得积分10
7秒前
ruaruaburua完成签到,获得积分10
7秒前
英姑应助Giinjju采纳,获得10
7秒前
小袁完成签到,获得积分10
8秒前
沉默士萧完成签到,获得积分10
8秒前
鱼儿完成签到,获得积分10
8秒前
与可完成签到,获得积分10
8秒前
危机的依凝完成签到 ,获得积分10
9秒前
julian190完成签到,获得积分10
10秒前
10秒前
11秒前
DJ完成签到,获得积分10
12秒前
13秒前
janice116688完成签到,获得积分10
13秒前
0713完成签到,获得积分10
15秒前
kkk完成签到,获得积分10
15秒前
15秒前
不可思宇完成签到,获得积分10
15秒前
赘婿应助ss采纳,获得30
15秒前
炙热小鸭子完成签到,获得积分10
16秒前
hys完成签到 ,获得积分10
16秒前
16秒前
科研小白完成签到,获得积分10
17秒前
高大莺完成签到 ,获得积分20
17秒前
JinGN完成签到,获得积分10
17秒前
18秒前
高分求助中
Picture Books with Same-sex Parented Families: Unintentional Censorship 1000
A new approach to the extrapolation of accelerated life test data 1000
ACSM’s Guidelines for Exercise Testing and Prescription, 12th edition 500
Nucleophilic substitution in azasydnone-modified dinitroanisoles 500
不知道标题是什么 500
Indomethacinのヒトにおける経皮吸収 400
Phylogenetic study of the order Polydesmida (Myriapoda: Diplopoda) 370
热门求助领域 (近24小时)
化学 材料科学 医学 生物 工程类 有机化学 生物化学 物理 内科学 纳米技术 计算机科学 化学工程 复合材料 遗传学 基因 物理化学 催化作用 冶金 细胞生物学 免疫学
热门帖子
关注 科研通微信公众号,转发送积分 3976796
求助须知:如何正确求助?哪些是违规求助? 3520917
关于积分的说明 11205230
捐赠科研通 3257798
什么是DOI,文献DOI怎么找? 1798908
邀请新用户注册赠送积分活动 877939
科研通“疑难数据库(出版商)”最低求助积分说明 806723