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Investigation on the controllable growth of monodisperse silica colloid abrasives for the chemical mechanical polishing application
作者
Xiaokai Hu,
Zhitang Song,
Haibo Wang,
Weili Liu,
Zefang Zhang
出处
期刊：
Microelectronic Engineering
[Elsevier BV]
日期：2009-10-10
卷期号：87 (9): 1751-1755
被引量：12
标识
DOI：10.1016/j.mee.2009.10.005
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