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Refractive index properties of SiN thin films and fabrication of SiN optical waveguide

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作者
D. S. Kim,Seokyoung Yoon,G.E. Jang,Su‐Jeong Suh,Hyonchol Kim,Dae Ho Yoon
出处
期刊：Journal of Electroceramics [Springer Nature]
日期：2006-12-01 卷期号：17 (2-4): 315-318 被引量：27
标识
DOI：10.1007/s10832-006-9710-x
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