Synthesis and characterization of TiO2–Ge nanocomposites

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作者
Amita Goyal,Abdul K. Rumaiz,Yanming Miao,Sukti Hazra,Chaoying Ni,S. İsmat Shah
出处
期刊:Journal of vacuum science & technology [American Vacuum Society]
卷期号:26 (4): 1315-1320 被引量:11
标识
DOI:10.1116/1.2939262
摘要

Thin films of TiO2–Ge nanocomposites were deposited by rf magnetron sputtering from a composite target prepared by pressing a mixture of TiO2 and Ge powders with a ratio 2:1. Thin films were deposited at various rf powers and temperatures and characterized by using x-ray diffraction, x-ray photoelectron spectroscopy, and transmission electron microscopy (TEM). The analyses showed that the film composition changes with the target rf power and substrate temperature with rf power being a bigger contributor to the change. TEM analyses of films revealed that segregated Ge nanograins were formed and were dispersed within the TiO2 matrix. The average grain size of Ge nanograins was between 9 and 15nm.

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