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Production mechanism and reactivity of the SiH radical in a silane plasma

化学 激进的 硅烷 离解（化学） 光化学 基态 等离子体 托尔 分析化学（期刊） 硅烷 原子物理学 物理化学 有机化学 量子力学 热力学 物理
作者
Johannes Schmitt,P. Gressier,M. Krishnan,G. De Rosny,J. Perrin
出处
期刊：Chemical Physics [Elsevier BV]
日期：1984-02-01 卷期号：84 (2): 281-293 被引量：104
标识
DOI：10.1016/0301-0104(84)85213-1
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