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Amorphous AlN nanolayer thickness dependent toughness, thermal stability and oxidation resistance in TaN/AlN nanomultilayer films

材料科学无定形固体韧性热稳定性微观结构复合材料溅射沉积退火（玻璃）溅射化学工程薄膜纳米技术结晶学工程类化学

作者

Jianguo Qi,L.P. Wang,Yi Zhang,Xin Guo,W.Q. Yu,Q.H. Wang,Kan Zhang,Ping Ren,Mao Wen

出处

期刊：Surface & Coatings Technology [Elsevier BV]
日期：2020-12-03 卷期号：405: 126724-126724 被引量：17

标识

DOI：10.1016/j.surfcoat.2020.126724

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