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Quantitative HAADF STEM of SiGe in presence of amorphous surface layers from FIB preparation

材料科学 锗 无定形固体 硅 分析化学（期刊） 扫描透射电子显微镜 透射电子显微镜 聚焦离子束 非晶硅 结晶学 离子 晶体硅 纳米技术 光电子学 化学 有机化学 色谱法
作者
Tim Grieb,M Tewes,Marco Schowalter,Knut Müller‐Caspary,Florian F. Krause,Thorsten Mehrtens,Jean‐Michel Hartmann,Andreas Rosenauer
出处
期刊：Ultramicroscopy [Elsevier]
日期：2017-10-14 卷期号：184: 29-36 被引量：17
链接
nih.govdoi.org
标识
DOI：10.1016/j.ultramic.2017.09.012
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