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作者
A. P. Mar’in,
U. A. Mar’ina,
В. А. Воробьев,
R. V. Pigulev
出处
期刊：Russian Microelectronics
[Springer Nature]
日期：2021-12-01
卷期号：50 (8): 665-672
标识
DOI：10.1134/s1063739721080047
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