Subsurface damage and bending strength analysis for ultra-thin and flexible silicon chips

材料科学 研磨 弯曲 抛光 复合材料 蚀刻(微加工) 转速 机械工程 工程类 图层(电子)
作者
Jian Wei,ZhaoXian Wang,Peng Jin,LongJi Zhu,Ying Chen,Xue Feng
出处
期刊:Science China-technological Sciences [Springer Nature]
卷期号:66 (1): 215-222 被引量:12
标识
DOI:10.1007/s11431-021-2021-4
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