Hardness enchancement by CN/TiCN/TiN multilayer films

材料科学 摩擦学 溅射 沉积(地质) 摩擦系数 冶金 溅射沉积 复合材料 薄膜 纳米技术 沉积物 生物 古生物学
作者
Carmen Morant,P. Prieto,Antonio Forn,Josep A. Picas,E. Elizalde,J. M. Sanz
出处
期刊:Surface & Coatings Technology [Elsevier]
卷期号:180-181: 512-518 被引量:28
标识
DOI:10.1016/j.surfcoat.2003.10.094
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