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作者
Martin Herms,
G. Irmer,
Gregor Kupka,
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Matthias Wagner
出处
期刊:
Journal of Electronic Materials
[Springer Nature]
日期:2020-04-26
卷期号:49 (9): 5205-5212
被引量:3
标识
DOI:10.1007/s11664-020-08141-7
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