Comparative Study of the Photoelastic Anisotropy of Si and GaAs

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作者
Martin Herms,G. Irmer,Gregor Kupka,Nando Kirchner,Mat­thias Wagner
出处
期刊:Journal of Electronic Materials [Springer Science+Business Media]
卷期号:49 (9): 5205-5212 被引量:3
标识
DOI:10.1007/s11664-020-08141-7

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