光刻
标度系数
拉伤
材料科学
应变计
纳米技术
光电子学
复合材料
制作
生物
医学
解剖
病理
替代医学
作者
Junshan Liu,Guo Hong-ji,Ming Li,Chi Zhang,Yongzhi Chu,Lixuan Che,Zhihao Zhang,Rui Li,Jining Sun,Yao Lu
出处
期刊：Journal of materials chemistry. A, Materials for energy and sustainability
[The Royal Society of Chemistry]
日期：2021-01-01
卷期号：9 (7): 4262-4272
被引量：17
摘要
A photolithography-assisted nanocrack patterning method is reported to precisely define the nanocrack pattern in metal films. This method is used to fabricate an ultrasensitive strain sensor with a gauge factor of ∼20 000 in 0–1.2% strain range.
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