HRTEM Analysis of Defect Structures in AIN Thin Films

高分辨率透射电子显微镜 材料科学 结晶学 纳米技术 化学 透射电子显微镜
作者
Jason R. Heffelfinger,Kevin F. McCarty,Douglas L. Medlin
出处
期刊:Microscopy and Microanalysis [Oxford University Press]
卷期号:3 (S2): 677-678 被引量:1
标识
DOI:10.1017/s1431927600010278
摘要

Abstract HRTEM analysis and conventional TEM techniques were used to determine the nature and density of defects in AIN thin films grown by Molecular Beam Epitaxy (MBE). Extended defects, which act as phonon scattering sites, are detrimental to the thermal properties for which AIN is sought. [1] Previous research on defect structures in AIN has focused primarily on bulk materials. [2-5] This investigation extends previous studies by concentrating on defects native to AIN thin films. The thin films for this study were grown by MBE onto annealed Al2O3 (corundum structure) substrates with a nominal (0001) surface orientation. The steps and structure of such (0001) Al2O3 surfaces have been previously characterized. [6] Films with thicknesses of 50 to 120 nm were grown at substrate temperatures between 700°C and 900°C. An RF driven source for atomic nitrogen and an aluminum effusion cell were used to generate deposition fluxes. TEM samples were prepared in plan-view and cross-section using conventional dimpling and ion milling techniques.
最长约 10秒,即可获得该文献文件

科研通智能强力驱动
Strongly Powered by AbleSci AI
更新
PDF的下载单位、IP信息已删除 (2025-6-4)

科研通是完全免费的文献互助平台,具备全网最快的应助速度,最高的求助完成率。 对每一个文献求助,科研通都将尽心尽力,给求助人一个满意的交代。
实时播报
追寻航空发布了新的文献求助100
刚刚
大模型应助麦克阿宇采纳,获得10
刚刚
刚刚
我是老大应助MHX采纳,获得10
刚刚
烟花应助含蓄绿兰采纳,获得10
1秒前
1秒前
勤奋大地完成签到,获得积分10
1秒前
Amy完成签到,获得积分10
2秒前
夏侯德东完成签到,获得积分10
2秒前
sinlar发布了新的文献求助30
2秒前
无限的书芹关注了科研通微信公众号
2秒前
MaxChen发布了新的文献求助10
2秒前
kylin完成签到,获得积分10
3秒前
3秒前
Chenyan775199发布了新的文献求助10
3秒前
思源应助hwy采纳,获得10
4秒前
圆圆的脑袋完成签到,获得积分10
4秒前
所所应助BK_采纳,获得10
5秒前
leslie发布了新的文献求助10
5秒前
xinli完成签到,获得积分10
6秒前
半城微凉应助yhy采纳,获得10
7秒前
MYY完成签到,获得积分10
7秒前
7秒前
圆圆完成签到 ,获得积分10
7秒前
Kenny完成签到,获得积分10
8秒前
Megan发布了新的文献求助10
8秒前
刘桑桑完成签到,获得积分10
8秒前
9秒前
10秒前
czm33完成签到,获得积分10
10秒前
10秒前
11秒前
李健应助为你博弈采纳,获得10
11秒前
11秒前
12秒前
西瓜完成签到,获得积分10
12秒前
yu发布了新的文献求助10
12秒前
13秒前
wanci应助无辜的水蓝采纳,获得10
13秒前
13秒前
高分求助中
A new approach to the extrapolation of accelerated life test data 1000
ACSM’s Guidelines for Exercise Testing and Prescription, 12th edition 500
Picture Books with Same-sex Parented Families: Unintentional Censorship 500
Nucleophilic substitution in azasydnone-modified dinitroanisoles 500
不知道标题是什么 500
A Preliminary Study on Correlation Between Independent Components of Facial Thermal Images and Subjective Assessment of Chronic Stress 500
Phylogenetic study of the order Polydesmida (Myriapoda: Diplopoda) 360
热门求助领域 (近24小时)
化学 材料科学 医学 生物 工程类 有机化学 生物化学 物理 内科学 纳米技术 计算机科学 化学工程 复合材料 遗传学 基因 物理化学 催化作用 冶金 细胞生物学 免疫学
热门帖子
关注 科研通微信公众号,转发送积分 3970802
求助须知:如何正确求助?哪些是违规求助? 3515474
关于积分的说明 11178714
捐赠科研通 3250627
什么是DOI,文献DOI怎么找? 1795390
邀请新用户注册赠送积分活动 875818
科研通“疑难数据库(出版商)”最低求助积分说明 805183