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Effect of Sputtering Temperature on Structure and Optical Properties of NiO Films Fabricated by Magnetron Sputtering

非阻塞I/O 溅射 材料科学 蓝宝石 溅射沉积 粒度 带隙 薄膜 光电子学 分析化学(期刊) 光学 冶金 纳米技术 化学 激光器 生物化学 物理 催化作用 色谱法
作者
Hui Wang,Yang Zhao,Xinzhong Li,Zhiqiang Zhen,Hehe Li,Jingge Wang,Miaomiao Tang
出处
期刊:Journal of Electronic Materials [Springer Nature]
卷期号:46 (7): 4052-4056 被引量:8
标识
DOI:10.1007/s11664-017-5453-5
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