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Damage-free sputtering of a transparent conductive oxide using a triode plasma configuration

三极管 溅射 等离子体 导电体 材料科学 透明导电膜 光电子学 氧化物 纳米技术 光学 复合材料 薄膜 物理 电容器 冶金 电气工程 电压 工程类 量子力学
作者
Jeong-Ho An,J. Hong,Sung‐In Mo,Yimhyun Jo,Sinho Choi,Tae‐Hee Kim,Soong Ju Oh,Kyung Taek Jeong,Hee-eun Song,Joon‐Ho Oh,Ka‐Hyun Kim
出处
期刊：Solar Energy Materials and Solar Cells [Elsevier BV]
日期：2025-02-03 卷期号：283: 113457-113457
标识
DOI：10.1016/j.solmat.2025.113457
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