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Low dielectric silsesquioxane-modified benzocyclobutene composites

苯并环丁烯 材料科学 电介质 热固性聚合物 热稳定性 复合材料 倍半硅氧烷 化学机械平面化 介电损耗 固化（化学） 高分子化学 化学工程 聚合物 抛光 光电子学 工程类
作者
Xie Meng,Guodong Li,Wenjie Fan,Menglu Li,Quan Sun,Jin Guo,Shuang Xia,Wenxin Fu
出处
期刊：Polymer [Elsevier BV]
日期：2023-07-10 卷期号：282: 126188-126188 被引量：7
标识
DOI：10.1016/j.polymer.2023.126188
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