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1‐1: Oxide Semiconductor Thin‐Film Transistors with High Mobility and Stability

材料科学 薄膜晶体管 半导体 光电子学 晶体管 氧化物 工程物理 纳米技术 电气工程 物理 工程类 图层（电子） 冶金 电压
作者
Guowen Yan,Dejian Wang,Xiaoqi Sun,Pan Wen,Cong Peng,Lin Xu,Liang Ding,Fa-Hsyang Chen,Xifeng Li,Wangfeng Xi,Rubo Xing,Junfeng Li
出处
期刊：Sid's Digest Of Technical Papers [Wiley]
日期：2024-04-01 卷期号：55 (S1): 6-7
标识
DOI：10.1002/sdtp.16981
摘要
This paper presents a oxide thin film transistors with high mobility by a new fabricate method. The high mobility TFT with ultra‐high mobility of 55cm 2 /Vs has been obtained, and the PBTS and NBTS has also been optimized.
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