Layer-by-layer thinning of two-dimensional materials

稀释 图层(电子) 材料科学 化学 复合材料 生态学 生物
作者
Phuong V. Pham,The-Hung Mai,Huy Binh,М. Vasundhara,Van‐Huy Nguyen,Trieu Nguyen,Hao Van Bui,Van‐Duong Dao,Ram K. Gupta,Vinoth Kumar Ponnusamy,Jin‐Hong Park
出处
期刊:Chemical Society Reviews [The Royal Society of Chemistry]
卷期号:53 (10): 5190-5226 被引量:7
标识
DOI:10.1039/d3cs00817g
摘要

Etching technology – one of the representative modern semiconductor device makers – serves as a broad descriptor for the process of removing material from the surfaces of various materials, whether partially or entirely.
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