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Study on Silicon Carbide High-Temperature Pressure Sensor Based on Mems Technology

碳化硅 微电子机械系统 材料科学 硅 碳化物 光电子学 高压 工程物理 压力传感器 机械工程 冶金 工程类
作者
Ruicheng Feng,Yanpei Shi,H. Liu,Xiaohao Wang,Fei Tang
标识
DOI：10.2139/ssrn.4686135
摘要
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