腔磁控管
半导体
薄膜晶体管
材料科学
光电子学
金属
溅射沉积
氧化物
薄膜
冶金
溅射
纳米技术
图层(电子)
作者
Yuexin Yang,Yilin Li,Honglong Ning,Kuankuan Lu,Dongxiang Luo,Xiao Fu,Guoping Su,Zhennan Zhu,Rihui Yao,Junbiao Peng
标识
DOI:10.1016/j.jallcom.2024.173942
科研通智能强力驱动
Strongly Powered by AbleSci AI