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Plasma-etching on monolithic MOFs-based MIM filter boosted chemical sensing

材料科学光电子学各向同性腐蚀等离子体刻蚀蚀刻（微加工）金属绝缘体金属绝缘体（电）亮度纳米技术等离子体反应离子刻蚀图层（电子）光学电容器电压物理量子力学

作者

Jianxi Liu,Li Feng,Zhihuan Li,Wu Yang,Feng Zhou,Yadong Xu

出处

期刊：Nano Research [Springer Science+Business Media]
日期：2023-09-26 卷期号：17 (4): 2800-2807 被引量：1

标识

DOI：10.1007/s12274-023-6098-8

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