Effect of peak current on the microstructure, mechanical properties and tribological behavior of MoxN coatings deposited by high power impulse magnetron sputtering

高功率脉冲磁控溅射 微观结构 材料科学 涂层 摩擦学 溅射沉积 复合材料 腔磁控管 冶金 直流电 溅射 薄膜 纳米技术 功率(物理) 量子力学 物理
作者
Xiaolong Lu,Xudong Sui,Jian Kang,Xiao Zhang,XingXu Miao,Junjie Wang,Junying Hao
出处
期刊:Tribology International [Elsevier]
卷期号:189: 108955-108955 被引量:1
标识
DOI:10.1016/j.triboint.2023.108955
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