Couches minces nanocomposites de TiN/SiNx déposées par pulvérisation magnétron réactive

These Ecole polytechnique federale de Lausanne EPFL, n° 2129 (2000)Faculte des sciences de baseJury: Dieter Landolt, Giorgio Margaritondo, Jorg Patscheider, Jerome Perrin, Christophe Rousselot Public defense: 2000-3-3 Reference doi:10.5075/epfl-thesis-2129Print copy in library catalog Record created on 2005-03-16, modified on 2016-08-08