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Electroless nickel and copper metallization: Contact formation on crystalline silicon and background plating behavior on PECVD silicon SiNx:H layers

材料科学 等离子体增强化学气相沉积 硅 铜 电镀（地质） 镍 冶金 金属化 光电子学 镀铜 复合材料 电镀 图层（电子） 金属 地球物理学 地质学
作者
Stefan Braun,Erkan Emre,Bernd Raabe,Giso Hahn
出处
期刊：World Conference on Photovoltaic Energy Conversion 日期：2010-10-28 卷期号：: 1892-1895 被引量：2
链接
uni-konstanz.dedoi.org
标识
DOI：10.4229/25theupvsec2010-2cv.2.51
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